一、精密零件切削加工
主要有精密车削、镜面磨削和研磨等。在精密车床上用通过精细研磨的单晶金刚石车刀举行微量车削,切削厚度仅1微米左右,常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、外表高度光洁的零件。例如加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜,*高精度可达0.1微米,外表粗糙度为Rz0.05微米。
二、精密零件加工
精密零件加工精度以纳米,甚至*后以原子单位(原子晶格距离为0.1~0.2纳米)为目标时,超精密零件切削加工方法已不能适应,必要借助特种精密零件加工的方法,即应用化学能、电化学能、热能或电能等,使这些能量超越原子间的联合能,从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形,以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
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